Nanokristalin SnO2 sentezlenmesi ve elektroforez kaplama yöntemiyle sensör üretimi

Abstract

Bu tezde, yarı iletken metal oksit malzeme kullanılarak gaz sensörü üretimi ele alınmıştır. Üretim süreçleri aşamalar halinde anlatılmıştır. İlk olarak uygun yarı iletken malzemenin (Sn02) yüzeye kaplanması gerçekleştirilmiştir. Kaplama yöntemi olarak elektroforez kaplama (EPD) yöntemi kullanılmıştır. Kaplama için kararlı süspansiyonun hazırlanması çalışmaları yapılmıştır. Bu çalışmalar ile nanopartikül aglomerelerinin dağıtılıp neredeyse tamamının birincil partikül haline getirilmesi sağlanmıştır. EPD kaplama deneyleri, kararlı hale getirilmiş süspansiyon kullanılarak, farklı voltaj ve sürelerde homojen kaplamanın elde edildiği şartlar bulunarak tamamlanmıştır. Kaplamaların sinterlenmesi için 600 °C sıcaklık ve 15 dakika sürenin uygunolduğu tespit edilmiştir. İnterdijital elektrot üzerine belirlenen parametrelerde kaplama uygulanıp; ardındar sinterlenerek devreler böylece gaz algılama (LPG)' testlerine hazır hak getirilmişlerdir. Ayrıca, gaz algılama testleri ile sensörün, farklı sıcaklıklarda değişik konsantrasyonlarda gazı algılama performansının karakterizasyonu yapılıp, elde edilen sonuçlar tezde sunulmuştur.