GaAs/AlGaAs tabanlı yarıiletken yapılardan aygıt üretimi ve karakterizasyonu

Sadeleştirilmiş öğe sayfası
dc.contributor.advisorSerincan, Uğur
dc.contributor.authorArpapay, Burcu
dc.contributor.departmentFen Bilimleri Enstitüsüen_US
dc.date.accessioned2025-12-03T00:45:08Z
dc.date.issued2010
dc.descriptionTez (yüksek lisans) - Anadolu Üniversitesien_US
dc.descriptionAnadolu Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Fizik Anabilim Dalıen_US
dc.descriptionKayıt no: 181751en_US
dc.description.abstractBu çalışmada, GaAs/AlGaAs tabanlı yarıiletken kuantum kuyulu yapılar fotolitografi ve ıslak aşındırma yöntemi kullanılarak aygıt haline getirilmiştir. Aygıt üretimi için yarıiletken yapının üzerine aygıt tanımlamaları yapılmış, ıslak aşındırma yöntemi kullanılarak malzeme aşındırılmış ve metal kaplama işlemi sonrasında yapılar paketlenmiştir. Bu basamaklar içerisinde en önemli ve kritik basamak olan ıslak aşındırma yönteminin uygulanması sırasında en uygun karışımın bulunabilmesi için değişik asit karışımları farklı oranlarda kullanılmıştır. Aşındırılan malzemelerin yüzey ve kesit yapıları SEM (taramalı elektron mikroskobu) yöntemiyle detaylı incelenmiştir. Bu çalışmalar sonucunda yüzey kalitesi ve masatepe yapı tanımlamaları için en uygun karışımın sülfürik asit ve sitrik asit olduğu sonucuna varılmıştır.en_US
dc.identifier.startpageXII, 77 y. : resim + 1 CD-ROM.en_US
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/11421/26590
dc.language.isoturen_US
dc.publisherAnadolu Üniversitesien_US
dc.relation.publicationcategoryTezen_US
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen_US
dc.subjectGalyum arsenür yarıiletkenleren_US
dc.subjectSülfürik asiten_US
dc.subjectHidroklorik asiten_US
dc.subjectSitrik asiten_US
dc.titleGaAs/AlGaAs tabanlı yarıiletken yapılardan aygıt üretimi ve karakterizasyonuen_US
dc.typemasterThesisen_US

Dosyalar

Orijinal seri

Şimdi gösteriliyor 1 - 1 / 1
Thumbnail Image
Ad:
974267.pdf
Boyut:
6.95 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Açıklama
Tam Metin / Full Text
İndir

Koleksiyonlar

Theses