GaSb alttaş üzerine kaliteli GaSb Epi-katmanlarınbütülmesi ve karakterizasyonu

Sadeleştirilmiş öğe sayfası
dc.contributor.advisorSerincan, Uğur
dc.contributor.authorŞahin, Seval
dc.contributor.departmentFen Bilimleri Enstitüsüen_US
dc.date.accessioned2025-12-03T00:45:11Z
dc.date.issued2014
dc.descriptionTez (yüksek lisans) - Anadolu Üniversitesien_US
dc.descriptionAnadolu Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Fizik Anabilim Dalıen_US
dc.descriptionKayıt no: 1036802en_US
dc.description.abstractMoleküler demet epitaksi yöntemiyle, farklı büyütme ve soğutma parametreleri kullanılarak, GaSb alttaş üzerine GaSb epikatman yapılar büyütülerek karakterizasyonları yapılmıştır. Büyütme ve soğutma parametrelerinin kristal kalitesine ve örnek yüzeyine etkisi incelenmiştir. Büyütme sonrasında uygulanan soğutma sürecinde kullanılan Sb akı miktarının ve Sb akısının sonlandırıldığı alttaş sıcaklık değerinin epikatmanların yüzeylerinde önemli etkileri olduğu belirlendi. Ayrıca, epikatman yüzey kalitesinin aygıt haline getirilme sürecinde tanımlanan mesa yapılarının aşınma profillerine etkisi olduğu tespit edildi ve bu sorun için çözüm üretildi.en_US
dc.identifier.startpageXII, 72 y. : resim + 1 CD-ROM.en_US
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/11421/26618
dc.language.isoturen_US
dc.publisherAnadolu Üniversitesien_US
dc.relation.publicationcategoryTezen_US
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen_US
dc.subjectGalyum arsenür yarıiletkenleren_US
dc.subjectMoleküler demet epiteksien_US
dc.titleGaSb alttaş üzerine kaliteli GaSb Epi-katmanlarınbütülmesi ve karakterizasyonuen_US
dc.typemasterThesisen_US

Dosyalar

Orijinal seri

Şimdi gösteriliyor 1 - 1 / 1
Thumbnail Image
Ad:
1036802.pdf
Boyut:
7.46 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Açıklama
Tam Metin / Full Text
İndir

Koleksiyonlar

Theses