Titanyum oksit yarıiletken filminin elde edilmesi, optik ve kristal özelliklerinin incelenmesi

Abstract

Bu çalışmada TiO? yarıiletken filmleri döndürerek kaplama yöntemi ile elde edilmiştir. TiO? filmlerinin yüksek sıcaklıklarda faz geçişine uğrayacağı dikkate alınarak elde edilen filmler 400 ?C sıcaklıkta ve hava ortamında tavlama işlemine tabi tutulmuştur. TiO? filmlerinin kalınlıkları tartı yöntemi kullanılarak hesaplanmış ve hesaplanan değerler 58-670 nm aralığında bulunmuştur. Filmlerin x-ışını kırınım desenlerinden 03-065-5714 numaralı PDF kartına göre anataz TiO? yapısında olduğu belirlenmiştir. TiO? filmlerinin kristal yapısının [101] doğrultusunda tercihli yönelime sahip olduğu saptanmıştır. Filmlerin kristal yapısının tane boyutları yaklaşık 30-37 nm aralığında hesaplanmıştır. 190-3300 nm dalgaboyu aralığında incelenen optik absorpsiyon ölçümlerinden TiO? filmlerinin yasak enerji aralığı değerlerinin 3,50-3,70 eV arasında değiştiği ve direkt bant geçişli olduğu saptanmıştır. FESEM cihazı kullanılarak filmlerin yüzey görüntüleri incelenmiştir.