Yayın: Spectroscopic study and numerical simulation of low-pressure radio-frequency capacitive discharge with argon downstream
Yükleniyor...
Tarih
Dergi Başlığı
Dergi ISSN
Cilt Başlığı
Yayımcı
Özet
Açıklama
Anahtar kelimeler
Argon, Physics, Radio frequency, Plasma, Capacitive sensing, Atomic physics, Wavelength, Optics, Electrical engineering