Yayın: Electrical characteristics for capacitively coupled radio frequency discharges of helium and neon
Yükleniyor...
Tarih
Dergi Başlığı
Dergi ISSN
Cilt Başlığı
Yayımcı
Özet
Açıklama
Anahtar kelimeler
Neon, Materials science, Radio frequency, Helium, Capacitance, Atomic physics, Electrode, Capacitive sensing, Voltage, Plasma, Waveform, Argon, Optoelectronics, Physics, Electrical engineering