Yayın:
Focused-ion-beam nanostructuring of Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>dielectric layers for photonic applications

Thumbnail Image

Tarih

2012-08-23

Yazarlar

Dergi Başlığı

Dergi ISSN

Cilt Başlığı

Yayımcı

Araştırma Projeleri

Organizasyon Birimleri

Dergi Sayısı

Özet

Açıklama

Anahtar kelimeler

Materials science, Dwell time, Focused ion beam, Fabrication, Ion beam, Dielectric, Optoelectronics, Photonics, Nanostructure, Beam (structure), Nanotechnology, Optics, Ion, Chemistry

Alıntı

URI

https://hdl.handle.net/11421/3420
 https://doi.org/10.1088/0960-1317/22/10/105008

Koleksiyonlar

Publications

Endorsement

Review

Supplemented By

Referenced By