Sol jel spin kaplama metodu ile elde edilen SnO2 filmlerinin optik ve yapısal özellikleri - Büyükköroğlu, Ali Yener (Anadolu Üniversitesi, 2010)
Bu çalışmada, sol jel spin kaplama metodu kullanılarak cam alttaşlar üzerine kalay oksit (SnO2) filmleri elde edilmiştir. Elde edilen SnO2 filmlerinin optik ve yapısal özellikleri üzerine molaritenin ve döndürme hızının etkisi araştırılmıştır. Filmlerin kalınlıkları 120nm ile 480nm arasında bulunmuştur. Elde edilen filmlerin kalınlıkları molarite ve döndürme hızına bağlı olarak değişmiştir. Film kalınlığı molaritedeki artışla artmış ve döndürme hızındaki artışla azalmıştır. SnO2 filmlerinin X-ışını kırınım desenlerinden yararlanarak ortalama tanecik boyutu ve % d hata değerleri hesaplanmıştır. Elde edilen filmler polikristal yapıya sahiptirler. Molarite ve döndürme hızı filmlerin kristal yapısı üzerinde önemli bir etkiye sahip olmuştur. Kristal yapı, döndürme hızı ve molaritedeki artışa bağlı olarak ortorombik fazdan tetragonal faza değişmiştir. SnO2 filmlerinin yasak enerji aralıkları optik absorpsiyon metodu kullanılarak belirlenmiştir. Filmlerin doğrudan bant geçişli yasak enerji aralığı değerlerinin 3,63eV ile 4,25eV arasında değiştiği bulunmuştur. Yasak enerji aralığı değerleri molaritedeki artışa bağlı olarak azalma eğilimi göstermiştir. Elde edilen filmlerin kırılma indisi ve dielektrik sabiti gibi bazı optik sabitleri optik ölçümler kullanılarak hesaplanmıştır.
"Bu tez çalışması Anadolu Üniversitesi Bilimsel Araştırma Projeleri Komisyonu Başkanlığı tarafından desteklenmiştir. Proje no: 061039."
Keywords: Optik sabitler; Yarıiletkenler; İnce filmler; X ışınları Kırınım