İndiyum katkılı ZnO ince filmlerinin bazı fiziksel özellikleri

Abstract

Katkısız çinko oksit (ZnO) ve indiyum-katkılı çinko oksit (IZO) ince filmleri cam tabanlar üzerine püskürtme yöntemi kullanılarak elde edilmiştir. In katkılanmasıyla yapısal, elektriksel ve optik özelliklerindeki değişimler incelenmiştir. ZnO ince filmlerinin kristal yapısı ve tercihli yönelimleri x-ışını kırınım spektrumlarında belirlenmiştir. Bu spektrumlarından elde edilen bütün filmlerin polikristal yapıda olduğu görülmektedir. Yapılanma katsayısı ve tanecik boyutu ince filmler için hesaplanmıştır. Filmlerin optik absorpsiyon spektrumları 200-900 nm dalga boylu spektrofotometrik olarak ölçülmüş; yasak enerji aralıkları, Urbach parametreleri ve optik sabitler (kırılma indisi, sönüm katsayısı ve dielektrik sabitleri) hesaplanmıştır. Elektriksel parametreler Van der Pauw methodu kullanılarak elde edilmiştir. Optikelektronik aygıtlara uygulamasında, geçirgenliği yaklaşık %89, ve özdirenci 11,71 Wcm gibi düşük bir değer olan %3 indiyum katkılı ZnO tercih edilir. Bu filmin özdirencinin, UV lambası ile aydınlatılarak yapılan ölçüm sonucunda 1,66 Wcm değerine düştüğü gözlenmiştir. Sonuç olarak, ZnO filmine indiyum katkılandığında, filmin yapısal, elektriksel ve optik özelliklerinde önemli değişiklikler meydana gelir.