Çok katlı piezoelektrik eyleyici seramiklerin üretimi ve karakterizasyonu

Abstract

Bu çalışmada adaptif uygulamalar da kullanılan aynaların hareketini yüksek hassasiyette gerçekleştirebilen çok katlı piezoseramik malzemeler üretilmeye çalışılmıştır ve karakterizasyonu yapılmıştır. Öncelikle bu uygulamalarda kullanılan malzemelerden beklenen özellikler incelenmiştir ve bu özellikler doğrultusunda katı hal yöntemiyle toz sentezlenmiştir. Sr-PZT yapısına faklı miktarlarda La ilavesi yapılarak La miktarının elektriksel özelliklere etkisi incelenmiştir. Sentezlenen tozlar 5 farklı sıcaklıkta sinterlenmiş olup her bir sıcaklıktaki özellikleri analiz edilmiştir. Sonrasında sentezlenen toz kompozisyonları arasından istenilen özellikler doğrultusunda bir tanesine karar verilmiştir. Seçilen kompozisyondan 8 farklı çok katlı seramikler yapılmıştır. Aktüatörün yarattığı deplasmanı etkileyen parametreler ayrıntılı olarak incelenmiştir. Bunun için çapı, alanı, kalınlığı ve katman sayısı farklı çok katmanlı seramikler üretilmiştir ve karakterizasyonu yapılmıştır.