SILAR yöntemiyle ZnO yarıiletken filminin elde edilmesi ve bazı fiziksel özelliklerinin incelenmesi

Abstract

Bu çalışmada II-VI bileşiklerinden olan ZnO yarıiletken filmleri SILAR (Ardışık İyonik Tabaka Adsorpsiyon ve Reaksiyonu) yöntemi ile cam tabanlar üzerinde 5, 7, 10, 20, 25 ve 30 turlar sonucunda elde edilmiştir. Elde edilen filmlerin x-ışınları kırınım desenlerinden filmlerin kristal yapısının hekzagonal (wurtzite) olduğu belirlenmiştir. ZnO yarıiletken filmlerin tanecik boyutlarının 15,46 –19,80 nm arasında değiştiği hesaplanmıştır. Absorpsiyon spektrumlarından direkt bant geçişli oldukları ve yasak enerji aralıklarının 3,13 ile 3,21 eV arasında değiştiği görülmüştür. Film kalınlığı arttıkça absorpsiyon sınırı kırmızı dalgaboyuna doğru kayma (red-shift) göstermiştir. Farklı tur sayılarında elde edilen ZnO yarıiletken filmlerinin optik geçirgenlik yüzdelerinin % 18 ile % 67 arasında bulunduğu tespit edilmiştir.