Elektrosprey yöntemiyle nanoboyutlu yarı iletken metaloksitlerin sensör amaçlı kaplanması

Abstract

Yarı iletken kalayoksit gaz sensörleri düşük üretim maliyetlerinden ve yanıcı gazları algılama özelliklerinden dolayı yaygın bir şekilde kullanılmaktadır. Kalayoksit nanopartikül ve filmlerinin üretimi için sputter, sol jel, kimyasal buhar birikimi ve elektrosprey gibi birçok yöntem kullanılmaktadır. Elektrosprey kaplama yöntemi gaz sensörü üretimi için yeni bir tekniktir. Bu çalışmada elektrosprey kaplama yöntemi ile ticari kalayoksit (SnO2) tozu ve SnCl4.5H2O başlangıç malzemesi kullanılarak SnO2 gaz sensörü amaçlı kaplama çalışmaları yapılmıştır. Elektrosprey kaplama yöntemi parametrelerinin film morfolojisine etkileri X-ışınları difraktometresi (XRD), enerji saçınımlı x-ışınları spektrofotometresi (EDX) ve taramalı elektron mikroskobu (SEM) ile incelenmiştir.