GaSb alttaş üzerine kaliteli GaSb Epi-katmanlarınbütülmesi ve karakterizasyonu

Yayın:
GaSb alttaş üzerine kaliteli GaSb Epi-katmanlarınbütülmesi ve karakterizasyonu

dc.contributor.author	Şahin, Seval
dc.contributor.department	Fizik Anabilim Dalı
dc.date.accessioned	2026-07-02T19:39:46Z
dc.date.issued	2014
dc.description	Sadece dijital ortamda erişilebilir.
dc.description.abstract	Moleküler demet epitaksi yöntemiyle, farklı büyütme ve soğutma parametreleri kullanılarak, GaSb alttaş üzerine GaSb epikatman yapılar büyütülerek karakterizasyonları yapılmıştır. Büyütme ve soğutma parametrelerinin kristal kalitesine ve örnek yüzeyine etkisi incelenmiştir. Büyütme sonrasında uygulanan soğutma sürecinde kullanılan Sb akı miktarının ve Sb akısının sonlandırıldığı alttaş sıcaklık değerinin epikatmanların yüzeylerinde önemli etkileri olduğu belirlendi. Ayrıca, epikatman yüzey kalitesinin aygıt haline getirilme sürecinde tanımlanan mesa yapılarının aşınma profillerine etkisi olduğu tespit edildi ve bu sorun için çözüm üretildi.	tur
dc.identifier.other	1036802
dc.identifier.uri	https://hdl.handle.net/11421/42648
dc.language.iso	tur
dc.publisher	Anadolu Üniversitesi
dc.subject	Galyum arsenür yarıiletkenler
dc.subject	Moleküler demet epiteksi
dc.title	GaSb alttaş üzerine kaliteli GaSb Epi-katmanlarınbütülmesi ve karakterizasyonu
dc.type	masterThesis
dspace.entity.type	Publication

Şimdi gösteriliyor 1 - 1 / 1