Yayın:
GaAs/AlGaAs tabanlı yarıiletken yapılardan aygıt üretimi ve karakterizasyonu

Sadeleştirilmiş öğe sayfası
dc.contributor.authorArpapay, Burcu
dc.contributor.departmentFizik Anabilim Dalı
dc.date.accessioned2026-07-02T22:36:14Z
dc.date.issued2010
dc.description"Bu tez çalışması Anadolu Üniversitesi Bilimsel Araştırma Projeleri Komisyonu Başkanlığı (Proje no: 091014) ve TBAG-107T012 numaralı proje kapsamında TÜBİTAK tarafından desteklenmiştir."
dc.description.abstractBu çalışmada, GaAs/AlGaAs tabanlı yarıiletken kuantum kuyulu yapılar fotolitografi ve ıslak aşındırma yöntemi kullanılarak aygıt haline getirilmiştir. Aygıt üretimi için yarıiletken yapının üzerine aygıt tanımlamaları yapılmış, ıslak aşındırma yöntemi kullanılarak malzeme aşındırılmış ve metal kaplama işlemi sonrasında yapılar paketlenmiştir. Bu basamaklar içerisinde en önemli ve kritik basamak olan ıslak aşındırma yönteminin uygulanması sırasında en uygun karışımın bulunabilmesi için değişik asit karışımları farklı oranlarda kullanılmıştır. Aşındırılan malzemelerin yüzey ve kesit yapıları SEM (taramalı elektron mikroskobu) yöntemiyle detaylı incelenmiştir. Bu çalışmalar sonucunda yüzey kalitesi ve masatepe yapı tanımlamaları için en uygun karışımın sülfürik asit ve sitrik asit olduğu sonucuna varılmıştır.tur
dc.identifier.other181751
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/11421/43677
dc.language.isotur
dc.publisherAnadolu Üniversitesi
dc.subjectGalyum arsenür yarıiletkenler
dc.subjectSülfürik asit
dc.subjectHidroklorik asit
dc.subjectSitrik asit
dc.titleGaAs/AlGaAs tabanlı yarıiletken yapılardan aygıt üretimi ve karakterizasyonu
dc.typemasterThesis
dspace.entity.typePublication

Dosyalar

Orijinal seri

Şimdi gösteriliyor 1 - 1 / 1
Thumbnail Image
Ad:
181751.pdf
Boyut:
6.95 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
İndir

Koleksiyonlar

Theses