Alüminyum katkılı ZnO ince filmlerinin bazı fiziksel özellikleri

Abstract

Bu çalışmada, püskürtme yöntemi kullanılarak farklı Al oranlarında (%1, %3, %5) katkılanmış Al katkılı ZnO filmleri cam tabanlar üzerinde elde edilmiştir.Katkısız ve Al katkılı ZnO filmlerinin yapısal, optik ve elektriksel özellikleri incelenmiştir. X-ışını kırınım desenlerinden elde edilen filmlerin hekzagonal ve polikristal yapıda olduğu belirlenmiştir. Yapılanma sabitleri, tanecik boyutları ve örgü sabitleri hesaplanmıştır. Filmlerin yasak enerji aralıkları dalgaboyunun bir fonksiyonu olarak optik absorbsiyon ölçümleri ile araştırılmış ve değerlerinin 3,2-3,3 eV arasında olduğu bulunmuştur. Filmlerin ortalama optik geçirgenliklerinin %80'nin üzerinde olduğu belirlemniştir. Absorpsiyon spektrumlarından yararlanarak filmlere ait optik geçirgenlik, yansıma, kırılma indisi, sönüm katsayısı, dielektrik sabitleri gibi optik sabitleri de hesaplanmıştır. Filmlerin elektrik özellikleri Van der Pauw metodu kullanılarak araştırılmış ve filmlerin özdirenç değerleri 0,26 Wcm-l,13 Wcm arasında bulunmuştur.