Titanyum oksit yarıiletken filminin elde edilmesi, optik ve kristal özelliklerinin incelenmesi

Abstract

Bu çalışmada TiO₂ yarıiletken filmleri döndürerek kaplama yöntemi ile elde edilmiştir. TiO₂ filmlerinin yüksek sıcaklıklarda faz geçişine uğrayacağı dikkate alınarak elde edilen filmler 400 ⁰C sıcaklıkta ve hava ortamında tavlama işlemine tabi tutulmuştur. TiO₂ filmlerinin kalınlıkları tartı yöntemi kullanılarak hesaplanmış ve hesaplanan değerler 58-670 nm aralığında bulunmuştur. Filmlerin x-ışını kırınım desenlerinden 03-065-5714 numaralı PDF kartına göre anataz TiO₂ yapısında olduğu belirlenmiştir. TiO₂ filmlerinin kristal yapısının [101] doğrultusunda tercihli yönelime sahip olduğu saptanmıştır. Filmlerin kristal yapısının tane boyutları yaklaşık 30-37 nm aralığında hesaplanmıştır. 190-3300 nm dalgaboyu aralığında incelenen optik absorpsiyon ölçümlerinden TiO₂ filmlerinin yasak enerji aralığı değerlerinin 3,50-3,70 eV arasında değiştiği ve direkt bant geçişli olduğu saptanmıştır. FESEM cihazı kullanılarak filmlerin yüzey görüntüleri incelenmiştir.